消息面上，《福建省“十五五”光电产业集群高质量发展行动方案（征求意见稿）》公开征求意见。其中提到，持续壮大光电关键材料品类和规模，加快发展超高纯电子气体、溅射靶材、试剂、光刻胶，高精度偏光片、掩膜版及高端封装材料。持续巩固提升激光晶体、非线性光学晶体、磁光晶体、声光晶体等高性能光学晶体及磷化铟（InP）、GaAs、氮化镓（GaN）等化合物半导体材料既有技术优势及产业规模；加快发展精密镀膜设备、光源系统、光电检测、光子探测、高温退火等核心装备及零部件，推动实现批量化生产和市场应用。加快推进光刻胶涂布设备、巨量转移设备等海内外先进显示装备项目引进和落地，提升核心装备自主保障能力。
东吴证券指出，海外制裁背景下，美系先进设备已无法采购，相关影响已被市场充分定价，未来去日化逻辑将逐步强化。美系与日系半导体设备优势赛道差异明显：美系设备优势集中在真空类设备（刻蚀、薄膜、量检测等），日系设备优势集中在前道湿法（涂胶显影、清洗）、后道封测（切磨抛、测试机）环节。在去日化逻辑下，前道湿法（涂胶显影、清洗）、测试机等日系设备国内市占率较高的环节，将具备较大的国产替代演绎空间。
截至2026年5月19日 13:15，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)强势上涨2.70%，成分股沪硅产业上涨9.84%，耐科装备上涨9.79%，中科飞测上涨7.97%，中微公司，盛美上海等个股跟涨。科创半导体设备ETF鹏华(589020)上涨2.29%， 冲击3连涨。最新价报2.01元。
科创半导体设备ETF鹏华紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，上证科创板半导体材料设备主题指数选取科创板内业务涉及半导体材料和半导体设备等领域的上市公司证券作为指数样本，以反映科创板半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2026年4月30日，上证科创板半导体材料设备主题指数(950125)前十大权重股分别为拓荆科技、中微公司、华海清科、中科飞测、芯源微、沪硅产业、华峰测控、安集科技、天岳先进、富创精密，前十大权重股合计占比72.94%。
新闻来源 (不包括新闻图片): 有连云